Detektion och mätning av ojämnheter på kiselskivor

Konfokalkromatiska lägesgivare från Micro-Epsilon används för att inspektera ojämnheter. Givarna genererar en liten mätpunkt på skivan och kan tack vare den höga upplösningen detektera de minsta delarna och strukturerna. Därför fastställs ojämnheternas form och dimensioner på ett pålitligt sätt.